TPM5 ಸರಣಿಯ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯಂತ್ರಕವು ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ವಿನ್ಯಾಸ ಕಲ್ಪನೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಒಳಗೆ 6 ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ.ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು, PECVD, ಎಪಿಟ್ಯಾಕ್ಸಿ ಕುಲುಮೆಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.