ಠೇವಣಿ
ಒಳನೋಟಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಿರಿ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ವೇಗಗೊಳಿಸಿ.
ಅಡ್ವಾನ್ಸ್ಡ್ ಎನರ್ಜಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಠೇವಣಿ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಧನ ಜ್ಯಾಮಿತಿಗಳಿಗೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಪರಿಹರಿಸಲು, ನಮ್ಮ ನಿಖರ ವಿದ್ಯುತ್ ಪರಿವರ್ತನೆ ಪರಿಹಾರಗಳು ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಖರತೆ, ನಿಖರತೆ, ವೇಗ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ನಿಮಗೆ ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ನಿಮಗೆ ನಿಜವಾಗಿಯೂ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುವ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ RF ಆವರ್ತನಗಳು, DC ವಿದ್ಯುತ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು, ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ವಿದ್ಯುತ್ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮಟ್ಟಗಳು, ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಮತ್ತು ಫೈಬರ್ ಆಪ್ಟಿಕ್ ತಾಪಮಾನ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ನಾವು ನೀಡುತ್ತೇವೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಒಳನೋಟವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ವೇಗಗೊಳಿಸಲು ನಾವು ವೇಗದ DAQ™ ಮತ್ತು ನಮ್ಮ ಡೇಟಾ ಸ್ವಾಧೀನ ಮತ್ತು ಪ್ರವೇಶ ಸೂಟ್ ಅನ್ನು ಸಹ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತೇವೆ.
ನಿಮ್ಮ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಸರಿಹೊಂದುವ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯಲು ನಮ್ಮ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಬಗ್ಗೆ ಇನ್ನಷ್ಟು ತಿಳಿಯಿರಿ.
ನಿಮ್ಮ ಸವಾಲು
ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಆಯಾಮಗಳನ್ನು ಪ್ಯಾಟರ್ನ್ ಮಾಡಲು ಬಳಸುವ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳಿಂದ ಹಿಡಿದು ವಾಹಕ ಮತ್ತು ನಿರೋಧನ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳು (ವಿದ್ಯುತ್ ರಚನೆಗಳು), ಲೋಹದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳು (ಅಂತರ್ಸಂಪರ್ಕ) ವರೆಗೆ, ನಿಮ್ಮ ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಪರಮಾಣು-ಮಟ್ಟದ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ - ಪ್ರತಿಯೊಂದು ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಕ್ಕೂ ಮಾತ್ರವಲ್ಲದೆ ಇಡೀ ವೇಫರ್ನಾದ್ಯಂತ.
ರಚನೆಯ ಹೊರತಾಗಿ, ನಿಮ್ಮ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ್ದಾಗಿರಬೇಕು. ಅವು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಧಾನ್ಯ ರಚನೆ, ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಅನುರೂಪ ದಪ್ಪವನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು ಮತ್ತು ಶೂನ್ಯ-ಮುಕ್ತವಾಗಿರಬೇಕು - ಮತ್ತು ಇದು ಅಗತ್ಯವಾದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಒತ್ತಡಗಳು (ಸಂಕೋಚಕ ಮತ್ತು ಕರ್ಷಕ) ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುವುದರ ಜೊತೆಗೆ.
ಸಂಕೀರ್ಣತೆ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಲೇ ಇದೆ. ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮಿತಿಗಳನ್ನು (ಉಪ-1X nm ನೋಡ್ಗಳು) ಪರಿಹರಿಸಲು, ಸ್ವಯಂ-ಜೋಡಣೆಗೊಂಡ ಡಬಲ್ ಮತ್ತು ಕ್ವಾಡ್ರುಪಲ್ ಪ್ಯಾಟರ್ನಿಂಗ್ ತಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿ ವೇಫರ್ನಲ್ಲಿ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಮತ್ತು ಪುನರುತ್ಪಾದಿಸಲು ನಿಮ್ಮ ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
ನಮ್ಮ ಪರಿಹಾರ
ನೀವು ಅತ್ಯಂತ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಠೇವಣಿ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಾಧನ ರೇಖಾಗಣಿತವನ್ನು ನಿಯೋಜಿಸಿದಾಗ, ನಿಮಗೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ನಾಯಕನ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
ಅಡ್ವಾನ್ಸ್ಡ್ ಎನರ್ಜಿಯ RF ಪವರ್ ಡೆಲಿವರಿ ಮತ್ತು ಹೈ-ಸ್ಪೀಡ್ ಮ್ಯಾಚಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಎಲ್ಲಾ ಮುಂದುವರಿದ PECVD ಮತ್ತು PEALD ಡಿಪಾಸಿಷನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪವರ್ ನಿಖರತೆ, ನಿಖರತೆ, ವೇಗ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ನಿಮಗೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
ನಿಮ್ಮ ಕಾನ್ಫಿಗರ್ ಮಾಡಬಹುದಾದ ಆರ್ಕ್ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ, ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಖರತೆ, ವೇಗ ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯವಿರುವ PVD (ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್) ಮತ್ತು ECD ಠೇವಣಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸಲು ನಮ್ಮ DC ಜನರೇಟರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳಿ.
ಪ್ರಯೋಜನಗಳು
● ವರ್ಧಿತ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪುನರಾವರ್ತನೆಯು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ
● ಸಂಪೂರ್ಣ ಡಿಜಿಟಲ್ ನಿಯಂತ್ರಣದೊಂದಿಗೆ ನಿಖರವಾದ RF ಮತ್ತು DC ವಿತರಣೆಯು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
● ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಆರ್ಕ್ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ತ್ವರಿತ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ
● ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಆವರ್ತನ ಶ್ರುತಿಯೊಂದಿಗೆ ಬಹು-ಹಂತದ ಪಲ್ಸಿಂಗ್ ಎಚ್ಚಣೆ ದರದ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ
● ಗರಿಷ್ಠ ಅಪ್ಟೈಮ್ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಜಾಗತಿಕ ಬೆಂಬಲ ಲಭ್ಯವಿದೆ.